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油擴(kuò)散泵的用途



玻璃油擴(kuò)散泵目前廣泛用于試驗(yàn)室的真空設(shè)備、長排車和一些生產(chǎn)設(shè)備上。由于玻璃系統(tǒng)具有透明、便于觀察內(nèi)部情況,容易檢漏、補(bǔ)漏,制做方便,價(jià)格便宜,吸放氣少且易于除氣等優(yōu)點(diǎn),因此盡管它容易破碎,玻璃壁易于滲氦,體積不能做得很大因而抽速不能很大,但仍在中小抽速范圍內(nèi)大量使用著。

我國玻璃油擴(kuò)散泵的生產(chǎn)廠主要是武漢玻璃廠和上海玻璃廠。以武漢玻璃廠生產(chǎn)的玻璃油擴(kuò)散泵為例。玻璃油擴(kuò)散泵的一種改進(jìn)擴(kuò)散增壓泵:盡管玻璃油擴(kuò)散泵已發(fā)明多年,但為了擴(kuò)大使用仍需不斷改進(jìn)。改進(jìn)的方向大致是在提高其極限真空度和增大抽氣范圍等方面。

例如真空冶煉、半導(dǎo)體提純、特種電真空器件和電光源的排氣都要求在10-2~10-5托之間迅速排除大量氣體,實(shí)驗(yàn)室為創(chuàng)造無噪聲、無振動(dòng)的環(huán)境需要長時(shí)間內(nèi)停止機(jī)械泵的工作,這些都提出了需要極限真空度高、排氣量大和前級(jí)耐壓高的排氣設(shè)備等特殊要求。而任何單獨(dú)的油增壓泵或油擴(kuò)散泵,是很難同時(shí)滿足上述要求的。油擴(kuò)散增壓泵就能承擔(dān)這一任務(wù)。

玻璃超高真空油擴(kuò)散增壓泵,在原超高真空擴(kuò)散泵的基礎(chǔ)上,采取改進(jìn)擴(kuò)壓器出口管道直徑,改變水冷方法,增大油鍋面積,增加二、三級(jí)噴嘴擴(kuò)散面積,使用雙層水冷帽,并使用275硅油等措施,其極限真空度可抽到5x10-10托,達(dá)到普通擴(kuò)散泵水平。PY-4型泵就是一例,工作范圍擴(kuò)寬到10-1~10-10托之間,能在1x10-3托到5x10-9托達(dá)滿抽速,這樣使用就方便了。它可直接與機(jī)械泵串聯(lián)使用,抽速150~200升/秒;在1x10-3托時(shí)的最大前級(jí)耐壓達(dá)1.2托,這在玻璃油擴(kuò)散泵的改進(jìn)方面是個(gè)可喜的努力。

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